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近日，科技部發(fā)布《關于印發(fā)“十三五”先進制造技術領域科技創(chuàng)新專項規(guī)劃的通知》。
近年來，我國制造業(yè)總體規(guī)模已居世界第一位，綜合實力不斷增強，成為名副其實的制造大國。不僅突破了一批核心技術，形成了一批支撐國民經(jīng)濟發(fā)展的重大裝備產(chǎn)品，更涌現(xiàn)出一批世界級的大企業(yè)，企業(yè)正在逐步成為技術創(chuàng)新主體，初步形成企業(yè)、高校、院所聯(lián)動的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新體系。
與此同時，我國制造業(yè)自身仍存在自主創(chuàng)新能力不強、基礎能力薄弱、產(chǎn)品質量不高、資源利用效率偏低、制造業(yè)與互聯(lián)網(wǎng)技術等新興信息技術的融合程度低等問題。針對我國制造業(yè)發(fā)展對科技創(chuàng)新的需求，“十三五”期間，先進制造領域重點從“系統(tǒng)集成、智能裝備、制造基礎和先進制造科技創(chuàng)新示范工程”四個層面，圍繞13個主要方向開展重點任務部署。其中，涉及儀器儀表行業(yè)發(fā)展的項目也獲重點扶持。
(一)增材制造
重點解決增材制造領域微觀成形機理、工藝過程控制、缺陷特征分析等科學問題，突破一批重點成形工藝及裝備產(chǎn)品，在航空航天、汽車能源、家電、生物醫(yī)療等領域開展應用，引領增材制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展。形成創(chuàng)新設計、材料及制備、工藝及裝備、核心零部件、計量、軟件、標準等相對完善的技術創(chuàng)新與研發(fā)體系，結合重大需求開展應用示范，具備開展大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化應用的技術基礎。
1.增材制造控形控性的科學基礎
探索增材制造自由成形過程的成形幾何精度、成形效率、材料組織結構與性能的形成規(guī)律與關鍵影響因素和控制方法，為提升增材制造工藝技術和裝備設計水平提供堅實的科學支撐，并為形成重大原創(chuàng)性增材制造新技術提供科學指引。
2.基于增材制造的結構優(yōu)化設計技術
發(fā)展基于增材制造工藝特性，融合力學、物理與化學多種功能的結構優(yōu)化設計技術，為結構整體化、輕量化、高性能化和滿足聲、光、電、磁、熱等多功能化提供設計方法和設計軟件，支撐我國高端裝備的自主創(chuàng)新設計和跨越式技術發(fā)展。
3.增材制造專用材料制備技術
基于增材制造的工藝特性和應用需求，開展增材制造專用金屬和非金屬材料的設計與制備技術研究，最大限度地發(fā)揮增材制造技術優(yōu)勢，大幅度拓展增材制造的產(chǎn)業(yè)化應用領域。
4.增材制造的核心裝備設計與制造技術
針對激光/電子束選區(qū)熔化、激光選區(qū)燒結、高能束金屬沉積成形、光固化、激光沉積打印、微滴噴射3D打印、熔融沉積造型等已經(jīng)展示重大產(chǎn)業(yè)化應用價值的增材制造技術，開展相關裝備設計與制造技術的深入研究，占據(jù)增材制造產(chǎn)業(yè)價值鏈的高端。
5.評價體系與標準建設
研究制定增材制造的材料標準、設計標準、工藝標準、裝備標準、檢測標準、數(shù)據(jù)標準和服務標準等7個方面的標準體系，為增材制造的廣泛產(chǎn)業(yè)化應用奠定基礎，并顯著增強我國增材制造技術的國際競爭力。
(二)激光制造
面向航空航天、高端裝備、電子制造、新能源、新材料、醫(yī)療儀器等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)的迫切需求，實現(xiàn)高端產(chǎn)業(yè)激光制造裝備的自主開發(fā)，形成激光制造的完整產(chǎn)業(yè)體系，促進我國激光制造技術與產(chǎn)業(yè)升級，大幅提升我國高端激光制造技術與裝備的國際競爭力。
1.激光與材料的相互作用機理
面向航空航天、新能源、電子制造、醫(yī)療等領域的國家重大需求，探索激光與材料相互作用的復雜物化過程，研究超快激光制造的新原理、新方法、新應用。開展大功率激光/短波長激光與材料相互作用機理、高精高效制造方法等方面的研究，掌握激光高品質表面制造、精細制造、極端微結構、高精高效制造等制造機制與實現(xiàn)方法。
2.激光器與核心功能部件
研究激光器動力學，掌握激光晶體/光學晶體、半導體激光芯片等激光器關鍵功能部件的國產(chǎn)化。針對高端制造用激光器的迫切需求，開展工業(yè)化光纖/半導體大功率激光器制造技術、工業(yè)化超快(飛秒、皮秒)激光器制造技術、工業(yè)化短(紫外、深紫外)波長激光器制造技術等方面的研究，開展激光器標準建設，實現(xiàn)高性能激光器及核心關鍵部件的國產(chǎn)化與產(chǎn)業(yè)化。
3.復雜構件表面的激光精細制造技術與裝備
研究激光表面精細制造、激光清洗、激光拋光等核心技術，探索器件表面功能性結構的激光高質、高效制造機理與新技術，研究關鍵構件表面微結構成形機理與實現(xiàn)方法，并掌握激光光束路徑規(guī)劃及高速掃描、激光制造裝備在線監(jiān)測與補償、激光制造過程精密在線檢測等裝備關鍵技術，開發(fā)航空航天、微電子、生物醫(yī)療等領域典型復雜構件的激光精密加工技術與裝備，提升國產(chǎn)激光制造技術與裝備的競爭力。
4.大功率激光高效制造技術與裝備
研究特殊工況下的激光制造機理與失效行為，突破大型構件激光制造裝備的設計制造技術瓶頸，攻克大型構件定位、質量在線檢測等關鍵技術，研究激光切割、激光打孔、激光沖擊強化、激光焊接以及激光復合制造等關鍵技術，開發(fā)面向飛機、船舶、高鐵等大型構件制造中的高端激光制造技術、裝備與標準。
5.先進激光精密微細制造技術與裝備
針對航空航天、微電子、新型微小航空器件、光子集成器件等領域，突破激光衍射極限的納米尺度制造、復雜微納操縱及激光納米連接、激光光束整形與協(xié)同控制等關鍵技術，開發(fā)硬脆材料高效精密制造、異種材料的激光高性能連接制造、極端微納結構精細制造等技術與裝備，并設計和加工若干具有重大應用前景的新型功能器件。
(三)智能機器人
推動機器人產(chǎn)業(yè)與人工智能等新一代信息技術深度融合，突破共性關鍵技術，形成具有國際競爭力的機器人產(chǎn)品，協(xié)同標準體系建設、技術驗證平臺與系統(tǒng)建設、以及典型示范應用，支撐我國機器人技術和產(chǎn)業(yè)向高端發(fā)展。
1.智能機器人基礎前沿技術
結合機器人與以人工智能為代表的新一代信息技術深度融合的國際發(fā)展趨勢，開展機構/材料/驅動/傳感/控制與仿生的創(chuàng)新技術、智能機器人感知與認知技術、智能機器人學習與智能增殖技術、人機自然交互與協(xié)作共融技術等重大基礎前沿技術研究，搭建機器人技術驗證平臺系統(tǒng)，開展試驗驗證，取得原創(chuàng)性創(chuàng)新成果，為我國新一代智能機器人提供技術支撐。
2.智能機器人共性關鍵技術
以攻克制約我國機器人技術與產(chǎn)業(yè)發(fā)展的共性關鍵技術為目標，開展高性能機器人核心零部件(RV減速器、諧波減速器、伺服電機與驅動器、機器人控制器)、專用傳感器、軟件體系及多任務操作系統(tǒng)、功能軟件、計量測試/安全與可靠性、應用工藝及系統(tǒng)集成等共性關鍵技術研究，建立機器人安全性與可靠性技術體系，機器人性能達到國際同類產(chǎn)品水平，解決我國機器人產(chǎn)業(yè)空心化問題，提升國產(chǎn)機器人的國際競爭力。
3.新一代機器人技術與平臺
開展主/被動結合新型機構與驅動、模塊化柔順關節(jié)、關節(jié)變剛度彈性驅動、生物-機械界面與接口的人機相容性設計、人機安全共存、智能交互、協(xié)同作業(yè)等新一代機器人核心技術研究，研制以協(xié)作型多自由度輕型臂、協(xié)作型雙臂機器人、移動操作臂等為代表的新一代互助協(xié)作型作業(yè)機器人和以上肢外骨骼、下肢外骨骼、全身外骨骼等為代表的新一代人體行為增強型機器人試驗樣機系統(tǒng)，為后續(xù)產(chǎn)品化奠定技術基礎，實現(xiàn)新一代機器人技術研究與世界同步，搶占技術與產(chǎn)業(yè)制高點。
4.機器人關鍵產(chǎn)品/平臺/系統(tǒng)研發(fā)
研發(fā)新型作業(yè)機器人、醫(yī)療/康復機器人、面向老年人/殘障人士的生活輔助機器人、特殊環(huán)境服役自主作業(yè)機器人、機器人云端在線服務平臺、機器人智能作業(yè)技術及系統(tǒng)等高端機器人關鍵產(chǎn)品/平臺/系統(tǒng)，豐富我國機器人產(chǎn)品種類，完善我國機器人產(chǎn)品譜系建設，提升我國機器人的整體性能與智能水平，創(chuàng)新服務領域和商業(yè)模式，支撐我國機器人技術與產(chǎn)業(yè)向高端發(fā)展，徹底轉變低水平重復的局面。
5.系統(tǒng)集成與應用
推進我國機器人面向制造業(yè)典型行業(yè)/重點領域、醫(yī)療/康復、助老助殘/智慧家庭/社會服務、安全與救援/科學工程等行業(yè)/領域的系統(tǒng)集成與應用，實現(xiàn)我國機器人技術與產(chǎn)品在國家重點行業(yè)/領域高端應用和典型領域拓展應用，提高國產(chǎn)機器人國際競爭力，為國產(chǎn)機器人產(chǎn)業(yè)化奠定基礎，加速推進我國智能機器人技術與產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。
(四)極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝
針對移動通信、大數(shù)據(jù)、新能源、智能制造、物聯(lián)網(wǎng)等重點領域大宗產(chǎn)品制造需求，重點圍繞28-14納米技術節(jié)點進行工藝、裝備和關鍵材料的協(xié)同布局，形成28-14納米裝備、材料、工藝、封測等較完善的產(chǎn)業(yè)鏈，推動全產(chǎn)業(yè)鏈專項成果的規(guī)模化應用，促進產(chǎn)業(yè)生態(tài)的改善和技術升級，實現(xiàn)技術促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展目標。
1.光刻機及核心部件
研發(fā)干式光刻機產(chǎn)品并實現(xiàn)銷售;研制28納米浸沒式光刻機產(chǎn)品，進入大生產(chǎn)線考核;開展配套光學系統(tǒng)、雙工件臺等核心部件產(chǎn)品研發(fā)，并集成到整機;構建關鍵技術與產(chǎn)品開發(fā)平臺，提升光刻機自主創(chuàng)新能力;建設光刻機光學系統(tǒng)等關鍵部件生產(chǎn)基地，具備批量生產(chǎn)能力。
2.高端關鍵裝備及零部件
面向集成電路14-10納米先進工藝，重點開展刻蝕、薄膜、化學機械處理、摻雜和檢測等關鍵裝備及其配套核心零部件產(chǎn)品研發(fā)，通過大生產(chǎn)線考核并進入銷售。
3.成套工藝及知識產(chǎn)權(IP)庫
以移動通信應用為重點，開發(fā)14納米及相關產(chǎn)品工藝;以大數(shù)據(jù)應用為重點，開發(fā)立體堆疊閃存(3D-NAND)存儲器工藝，開展7-5納米關鍵技術研究;面向新能源、智能制造、物聯(lián)網(wǎng)等重點領域大宗產(chǎn)品制造需求，開發(fā)特色產(chǎn)品工藝平臺;取得核心知識產(chǎn)權并實際應用。
4.關鍵材料
面向45-28-14納米集成電路工藝，重點研發(fā)300毫米硅片、深紫外光刻膠、拋光材料、超高純電子氣體、濺射靶材等關鍵材料產(chǎn)品，通過大生產(chǎn)線應用考核認證并實現(xiàn)規(guī)模化銷售;研發(fā)相關超高純原材料產(chǎn)品，構建材料應用工藝開發(fā)平臺，支撐關鍵材料產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新生態(tài)體系建設與發(fā)展。
5.封裝測試
面向移動互聯(lián)和汽車電子等重大領域需求，圍繞處理器、存儲器、14-10納米工藝節(jié)點晶圓等產(chǎn)品開發(fā)下一代封裝集成與測試新技術以及相關的關鍵裝備和材料產(chǎn)品;實現(xiàn)可集成數(shù)模混合電路、射頻、微機電系統(tǒng)(MEMS)和光電等多功能異質材料芯片的三維系統(tǒng)集成技術的量產(chǎn)應用;建成有影響力的封裝集成產(chǎn)業(yè)共性技術研發(fā)平臺，取得較完善的知識產(chǎn)權體系。
(五)新型電子制造關鍵裝備
面向寬禁帶半導體器件、光通訊器件、MEMS(微機電系統(tǒng))器件、功率電子器件、新型顯示、半導體照明、高效光伏等泛半導體產(chǎn)業(yè)領域的巨大市場需求，開展關鍵裝備與工藝的研究，重點解決電子器件關鍵材料裝備、器件制造裝備等高端裝備缺乏關鍵技術、可靠性低、工藝開發(fā)不足等問題，推動新技術研發(fā)與關鍵裝備研發(fā)的協(xié)同發(fā)展，構建高端電子制造裝備自主創(chuàng)新體系。
1.寬禁帶半導體/半導體照明等關鍵裝備研究
針對碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等為代表的寬禁帶半導體技術對關鍵制造裝備的需求，開展大尺寸(6吋)寬禁帶半導體材料制備、器件制造、性能檢測等關鍵裝備與工藝研究。針對高亮度半導體照明(LED、OLED)大生產(chǎn)線對制造裝備的需求，開展大產(chǎn)能材料制備、器件制造、性能檢測等關鍵裝備研發(fā)，掌握核心技術與工藝，滿足大生產(chǎn)線要求。
2.光通訊器件關鍵裝備及工藝研究
針對光通訊器件制造對裝備的需求，重點圍繞硅基光電子芯片工藝裝備、InP(銦磷)基等光電子芯片工藝裝備、光纖器件工藝裝備、光電子器件耦合封裝等關鍵裝備等開展研究，掌握核心技術，實現(xiàn)產(chǎn)品應用，提升國內光通訊器件制造能力及工藝水平。
3.MEMS器件/電力電子器件等關鍵裝備與工藝研究
針對MEMS器件、電力電子器件等領域對裝備的特殊工藝需求，開展材料制備、芯片制造、特種封裝、性能檢測等關鍵裝備與工藝的研發(fā)，掌握關鍵技術、開發(fā)特色工藝，提高國產(chǎn)裝備的工藝適應性及可靠性。研究基于國產(chǎn)裝備為主的成套工藝，完成對國產(chǎn)裝備的工藝優(yōu)化、可靠性驗證及集成應用，打造自主產(chǎn)業(yè)鏈，提升產(chǎn)業(yè)競爭力。
4.高效光伏電池關鍵裝備及工藝研究
針對下一代高效光伏電池技術(PERC、HIT、黑硅電池等)對關鍵裝備及工藝的需求，開展大產(chǎn)能、高轉換效率光伏電池制造工藝裝備、自動化制造裝備、核心工藝等研究，降低電池片制造成本，轉換效率達到國際領先水平，實現(xiàn)批量銷售。
5.新材料、新器件關鍵電子裝備與核心部件研究
針對石墨烯、碳基電子器件、柔性顯示、光互聯(lián)等國際上不斷出現(xiàn)的新材料、新器件、新工藝對半導體技術相關的裝備需求，開展面向電子器件應用石墨烯材料制備裝備、大面積轉移裝備、石墨烯電子器件制造裝備、柔性顯示有機膜材料制備裝備、柔性顯示有機器件制造及檢測裝備、碳基電子器件制造裝備、光互聯(lián)器件制備裝備、高密度封裝等方面的關鍵裝備開發(fā)，滿足研發(fā)或產(chǎn)業(yè)化需求，推動新技術研發(fā)與裝備研發(fā)的協(xié)同發(fā)展。
(六)高檔數(shù)控機床與基礎制造裝備
堅持主機牽引、夯實基礎、突破核心、工藝驗證，聚焦航空航天和汽車兩個重點服務領域，重點攻克高檔數(shù)控系統(tǒng)和功能部件等瓶頸，完成150種以上智能、精密、高速、復合型高端制造業(yè)裝備的研制和示范應用，大幅提升國家重點工程、國民經(jīng)濟重點領域關鍵制造裝備國產(chǎn)化率，在強化高端數(shù)控裝備單機智能化水平提升的基礎上，逐步實現(xiàn)由單機示范應用向智能化制造成組成套整體解決方案的提升，擴大專項裝備成果的應用成效。
1.航空航天領域高檔數(shù)控裝備
聚焦航空航天典型結構件加工需求，以提高加工效率和質量為目標，突破關鍵工藝和編程等核心技術;開展高檔五軸數(shù)控機床與關鍵成形裝備等主機的應用驗證與示范，推動高檔數(shù)控系統(tǒng)和以擺角銑頭為代表的關鍵功能部件實現(xiàn)批量化應用。
2.汽車制造領域高檔數(shù)控裝備
重點研究數(shù)控機床的可靠性快速試驗技術與制造保障技術、數(shù)控系統(tǒng)的可靠性第三方測試及可靠性增長技術，突破數(shù)控機床可靠性MTBF>2000小時的技術瓶頸，通過示范應用與工藝驗證，大幅提升國產(chǎn)數(shù)控機床的組線能力。加強成組成套工藝集成研究，為汽車關鍵零部件制造提供成套解決方案，實現(xiàn)國產(chǎn)高檔數(shù)控機床在汽車發(fā)動機關鍵零部件高效柔性加工與批量化制造中的成組成套應用。
(七)智能裝備與先進工藝
重點解決高端裝備產(chǎn)品質量較差、檔次不高，缺乏核心工藝，智能化程度不足，可靠性及精度保持性難題，研制一批代表性智能加工裝備、先進工藝裝備和重大智能成套裝備，支撐我國高端裝備向高精尖和智能化互聯(lián)方向發(fā)展，引領裝備的智能化升級。
1.智能機床
重點研究新一代智能機床的技術特征、總體結構、核心模塊和關鍵技術，攻克智能主軸/智能伺服進給/智能終端等智能單元、基于模型的復雜曲面直接插補、機床通用通信接口協(xié)議規(guī)范、加工狀態(tài)自感知/自學習/自適應/自優(yōu)化、虛擬機床及虛擬加工、基于工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)和加工過程大數(shù)據(jù)的監(jiān)控及遠程服務、全生命周期可靠性評估與增長等核心關鍵技術，研制出具有國際一流技術水平的新一代智能數(shù)控系統(tǒng)和智能機床，并在重點領域開展應用示范。
2.新型材料成形及加工裝備
重點攻克石墨烯/類石墨烯薄膜大幅面制造過程晶態(tài)生長監(jiān)測及控制、石墨烯/類石墨烯薄膜大面積轉移在線應力監(jiān)測與控制技術，研制出大幅面石墨烯/類石墨烯制造成套裝備;重點突破復合材料制造工藝建模與仿真、耐高溫陶瓷基復合材料低成本制造工藝及裝備、復合材料組合結構(纖維復合材料、蜂窩材料和增材制造)制造新方法等關鍵技術，為新型材料成形和加工提供新工藝和新技術。
3.復雜大型構件高效加工技術及裝備
重點攻克大型異種材料結構件高效低殘余應力焊接、大規(guī)格球管類構件整體成形技術，研制出大型輕量化結構低應力精確成形制造工藝與裝備;重點攻克復合材料混雜構件低成本復合成形、復合材料構件低損傷加工工藝與損傷檢測等關鍵技術，研制出復合材料/結構一體化設計與精確成形協(xié)同制造裝備。
4.復合能場加工工藝及裝備
重點研究復合能場耦合機理、復合能場對材料的協(xié)同作用機制，攻克復合能場加工質量在線監(jiān)測、多工藝要素協(xié)同控制等關鍵技術，形成激光-電弧-磁場復合加工、異種材料復合能場加工以及鋁鋰合金等新一代輕質合金多能場復合加工工藝，研制出多功能小型化復合能場加工裝備、多自由度大型結構件激光復合能場加工裝備、以及極端環(huán)境下(空天、海洋等)現(xiàn)場制造工藝及裝備。
5.精密與超精密加工工藝及裝備
重點突破金屬超硬材料、超低密度材料、高分子聚合物、高精度光學元件、微機械及醫(yī)療生物零件等精密超精密加工關鍵技術，探索研究超精密加工與微成形的物化機理、微觀力學行為、表面形貌演變規(guī)律、精度和性能映射等新原理，研發(fā)極端制造環(huán)境下高精度大尺寸加工測量一體化、微納結構與功能表面的原位測量、超高精度平/曲面、微納結構功能表面加工工藝裝備、大功率超聲波應用技術等，并在典型行業(yè)示范應用。
6.重大成套機械裝備
重點研究開發(fā)重大成套機械裝備的數(shù)字化、網(wǎng)絡化、智能化關鍵技術，研制智能化大型工程機械、數(shù)字化重型礦山成套設備、大型石化成套設備、智能化港口/海工作業(yè)機械和智能化農(nóng)業(yè)機械等一批重大裝備，實現(xiàn)系統(tǒng)集成，推進示范應用。
(八)制造基礎技術與關鍵部件
圍繞制造基礎技術與關鍵部件，開展基礎技術與前沿技術研究，突破關鍵技術與共性技術，建立健全基礎數(shù)據(jù)庫、工業(yè)試驗驗證平臺和安全保障技術，完善技術標準體系，為逐步解決國產(chǎn)裝備“空心化”提供技術支撐，大幅度提高為重點領域和重大成套裝備自主配套能力。
1.基礎件
圍繞高速精密重載軸承開展軸承服役性能演變規(guī)律與失效機理等基礎理論、材料對性能影響規(guī)律和失效機理等研究，掌握高速、精密、重載軸承設計理論、壽命理論及試驗方法，動態(tài)性能試驗技術與方法，掌握高鐵軸箱軸承、風力發(fā)電機組主軸與齒輪箱軸承、機器人和機床精密軸承、特大型裝備靜壓軸承等設計、試驗和批量化制造核心技術，開展典型應用示范。
圍繞高參數(shù)齒輪及傳動裝置開展高參數(shù)齒輪傳動嚙合失效機理、特殊條件下齒輪副基本工作理論、研究，研究高速重載齒輪傳動、輕合金齒輪、高性能蝸桿傳動及新型機構，基準級別齒輪漸開線樣板設計與超精密制造和計量，突破高參數(shù)齒輪傳動和精密減速器設計、制造和檢測共性關鍵技術，形成標準及技術規(guī)范，實現(xiàn)高參數(shù)齒輪及傳動裝置在民用航空裝備、工程機械、大型海洋裝備、高速列車、海上風電、機器人等裝備的示范應用。
圍繞高端液壓件與密封件開展新型高功率重量比和高能量密度液壓件的設計方法研究，高參數(shù)液壓閥、泵等新結構和新方法研究。研究密封可靠性設計、延壽、運行試驗技術，開發(fā)高性能檢測、可靠性評估和測試裝備，建立性能評價體系與標準。開發(fā)高壓力等級多路閥和液壓泵、大規(guī)格柱塞泵與比例流量閥、高效率靜液傳動元件與系統(tǒng)、高參數(shù)密封件、液壓動力總成系統(tǒng)等，實現(xiàn)在工程機械與農(nóng)業(yè)機械、重型機械、航空航天、海洋工程裝備等示范應用。
2.基礎制造工藝
研究高活性金屬與鑄型界面反應機制和成形方法、鑄造全流程精確控制、鑄造過程仿真與在線檢測等關鍵技術，掌握鈦合金、高溫合金鑄件精密鑄造技術、鑄鍛件近凈成形與精準成形工藝，開展各類材料成形過程動態(tài)仿真參數(shù)優(yōu)化技術研發(fā)應用，實現(xiàn)典型產(chǎn)品應用示范。
研究零件可控清潔熱處理工藝、真空等溫淬火熱處理工藝等關鍵技術，開發(fā)清潔熱處理裝備，完善熱處理工藝數(shù)據(jù)庫。開發(fā)高溫耐蝕涂層技術、潤滑耐磨抗氧化表面工藝材料、工藝及表面處理裝備。
研究高速干切基本機理和新型干切機床結構，工藝參數(shù)優(yōu)化及基礎數(shù)據(jù)庫;研究微量潤滑作用機理和測試選用技術，低溫微量潤滑集成制造技術;環(huán)保清潔切削液配置技術。
3.工業(yè)性驗證平臺與基礎數(shù)據(jù)庫
建立精密齒輪及傳動裝置、高壓大流量液壓元件、高參數(shù)密封件、高速重載軸承等關鍵基礎件性能及可靠性試驗平臺，工業(yè)傳感器、智能儀器儀表性能及可靠性測試平臺，對相關的基礎技術、關鍵部件與產(chǎn)品進行試驗驗證，完善技術標準體系。
研究先進制造工藝方法、工藝基礎數(shù)據(jù)庫，研究并整合國內外制造工藝相關數(shù)據(jù)資源，建立健全制造基礎技術數(shù)據(jù)庫、基礎制造工藝資源環(huán)境屬性數(shù)據(jù)庫等。研發(fā)基礎數(shù)據(jù)采集工具和知識庫管理系統(tǒng)和標準，開發(fā)面向基礎工藝和典型產(chǎn)品全生命周期環(huán)境影響評價工具。
4.制造過程安全保障關鍵技術
研究關鍵部件故障響應安全機制、功能安全定量計算數(shù)學模型和定性評價體系等功能安全設計與評估驗證技術;研究物理安全、功能安全、網(wǎng)絡安全一體化融合的方法理論、制造系統(tǒng)安全一體化管控等安全一體化融合技術;研究安全威脅和攻擊機理分析與建模、實時攻擊隔離與抑制等工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)安全技術;故障預測與健康管理(PHM)等測控產(chǎn)品安全可用關鍵技術研究;開展功能、網(wǎng)絡安全工業(yè)化試驗驗證，典型工業(yè)協(xié)議安全性分析驗證，工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)安全漏洞庫等研究。
(九)工業(yè)傳感器
針對工業(yè)互聯(lián)、智能制造的高端需求，順應傳感器微型化、集成化、智能化發(fā)展趨勢，形成一批高端傳感器和儀器儀表產(chǎn)品，支撐我國智能制造發(fā)展，解決微納傳感器硅基兼容制造、封裝、可靠性、集成化等核心共性技術，引領未來發(fā)展。
1.工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)用微納傳感器
研究無源無線多參數(shù)監(jiān)測傳感器，高能量密度振動能量收集器等前沿技術。研發(fā)傳感器與電路協(xié)同設計技術及設計工具，傳感器與電路單片集成工藝技術，硅基功能薄膜兼容制造等關鍵共性技術。開發(fā)單片集成傳感器，陣列傳感器，多功能傳感器，低功耗傳感器，無線集成傳感器等產(chǎn)品。
2.離散制造業(yè)用微納傳感器
研究柔性襯底傳感器，芯片級原子效應傳感器等前沿技術，研發(fā)數(shù)字全場激光超聲檢測技術，高精度二維三維光柵測試等關鍵共性技術。研發(fā)運動部件溫度、應變、振動傳感器，轉速傳感器，微型繼電器，微型電場傳感器，多維位移同步測量傳感器，微型高精度姿態(tài)測量單元等產(chǎn)品。
3.流程工業(yè)用微納傳感器
研究高精度諧振式壓力傳感器，微型聲矢量傳感器等前沿技術。研發(fā)傳感器芯片與封裝材料特性測試技術及其數(shù)據(jù)庫，微傳感器可靠性及其測試等關鍵共性技術。研發(fā)高溫壓力傳感器、風速風向傳感器、紅外高溫傳感器、工業(yè)現(xiàn)場氣體檢測傳感器等產(chǎn)品。
4.智能制造用儀器儀表
研究智能儀器儀表可靠性建模、設計與仿真，參數(shù)標定與校準、非線性補償方法等動態(tài)測試與性能評估，關鍵部件芯片化等前沿技術;研發(fā)復雜工業(yè)測量儀表在線標定，高端智能測量儀表設計、精確自動補償、生產(chǎn)工藝、裝配等，在線分析儀器小型化關鍵部件、微弱信號精密檢測等共性關鍵技術;研發(fā)高精度壓力/質量/流量/物位儀表，壓力/質量流量儀表在線批量化標定裝置，小型化在線分析儀、感知/控制/驅動一體化控制器等產(chǎn)品。
5.特種專用儀器儀表
研究力熱平衡結構設計、多傳感器三維納米定位等納米三坐標測量，工件姿態(tài)和運動參數(shù)測量、空間坐標測量、大型零部件尺寸和形位誤差測量、激光跟蹤等大型裝備制造智能化測量等前沿技術，研發(fā)工業(yè)現(xiàn)場級虛擬測量、工業(yè)設施現(xiàn)場故障診斷、特種執(zhí)行機構和控制閥設計、制造和仿真等共性關鍵技術，研制激光跟蹤測量儀器、現(xiàn)場級虛擬測量儀表、復雜機械運行故障檢測等工業(yè)現(xiàn)場專用診斷儀器、特種執(zhí)行機構和控制閥等。
(十)智能工廠
適應工廠智能化的發(fā)展趨勢，重點研發(fā)智能制造標準化共性關鍵技術，實現(xiàn)智能工廠共性關鍵技術研發(fā)、技術的工程化和產(chǎn)業(yè)化。提升我國工業(yè)自動化行業(yè)的整體創(chuàng)新水平和自主裝備能力，滿足國家科技創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)升級和轉型的重大戰(zhàn)略需求。
1.工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)技術與系統(tǒng)
針對物理信息系統(tǒng)中信息與物理交叉融合造成的復雜性系統(tǒng)問題，建立工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)復雜系統(tǒng)模型，攻克以智能工廠為對象的全網(wǎng)互聯(lián)技術，給出工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)復雜系統(tǒng)的實現(xiàn)能力、性能分析與評價方法。重點研究工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)一體化架構、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)的泛在感知網(wǎng)絡互聯(lián)和實時控制技術、多源異構網(wǎng)絡互聯(lián)與語義化互操作技術、動態(tài)自組織軟件定義的工業(yè)控制網(wǎng)絡技術、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)驗證測試平臺。攻克大規(guī)模、異構、高實時、高安全、可重構工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)共性關鍵技術，實現(xiàn)工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)安全可靠應用，建立工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)與智能工廠測試驗證平臺。
2.智能控制器與系統(tǒng)
以新一代信息技術為基礎，研制新型、高端、可信智能控制器，提升工廠制造過程和制造裝備的自有處理能力和智能水平。重點研究智能裝備CPS型控制器與關鍵技術、基于移動互聯(lián)的智能產(chǎn)線控制管理器、高可信多重冗余控制系統(tǒng)與關鍵技術、新一代SCADA系統(tǒng)與關鍵技術、工業(yè)組態(tài)和工業(yè)監(jiān)控等工業(yè)軟件、精密系統(tǒng)裝配過程數(shù)據(jù)采集與控制裝置。攻克云端服務、高實時任務、高可信控制共性關鍵技術，實現(xiàn)實時仿真、全分布式控制、多種控制器無縫集成。
3.制造過程的系統(tǒng)設計、控制與優(yōu)化
針對智能工廠的工程化基礎方法和實施手段，研究開發(fā)面向CPS的工程工具和實時在線優(yōu)化控制工具以及先進的模型庫知識庫，提升智能工廠的工程應用目標。重點研究生產(chǎn)過程與設備的建模仿真與優(yōu)化控制技術、先進制造智能服務體系與全流程智能優(yōu)化技術、全過程的數(shù)據(jù)實時獲取分析與信息整合技術、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)語義化編程技術與組態(tài)工具、分子級表征建模工具與在線實時優(yōu)化控制系統(tǒng)設計平臺、模塊化協(xié)同設計工具與實時控制系統(tǒng)設計平臺。攻克分子級表征與建模、多層域多尺度建模、系統(tǒng)設計、基于知識和數(shù)據(jù)的仿真模擬與實時優(yōu)化、在線服務與全流程優(yōu)化技術，實現(xiàn)仿真設計與控制優(yōu)化系統(tǒng)工具與平臺。
4.CPS制造執(zhí)行系統(tǒng)與運營管理
針對智能工廠的生產(chǎn)要素、能效管理、智能決策和生產(chǎn)服務關鍵技術，研究基于“互聯(lián)網(wǎng)+智能工廠”的運營管理平臺，實現(xiàn)智能工廠平臺化方法的建立和實施。重點研究基于云平臺的CPS制造執(zhí)行系統(tǒng)、制造過程能效仿真、監(jiān)測與管控技術、生產(chǎn)要素的狀態(tài)監(jiān)測診斷與健康管理技術、企業(yè)級輔助決策智能化與可視化平臺。攻克服務總線、動態(tài)配置、能效模型、生產(chǎn)要素模型、可視化呈現(xiàn)、智能輔助決策關鍵技術，實現(xiàn)智能工廠的運營管理。
5.智能工廠的可重構技術及原型平臺
針對智能工廠批量化定制需求，研究工控系統(tǒng)可重構技術，研制智能工廠原型平臺，實現(xiàn)產(chǎn)線裝備、制造過程和云平臺服務資源可重構能力。重點研究裝備控制器可重構技術、產(chǎn)線可重構技術、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)與云平臺可重構技術、智能工廠可重構原型平臺。攻克裝備控制系統(tǒng)可重構技術、產(chǎn)線裝備可重構技術、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)可重構技術、云平臺服務資源可重構技術，實現(xiàn)集成可重構技術的智能工廠原型平臺。
(十一)網(wǎng)絡協(xié)同制造
以推進互聯(lián)網(wǎng)與制造業(yè)、服務與制造融合發(fā)展為主線，以重塑制造業(yè)技術體系、生產(chǎn)模式、產(chǎn)業(yè)形態(tài)和價值鏈以及促進制造業(yè)轉型升級為目標，探索一批引領發(fā)展的制造與服務新模式，突破一批網(wǎng)絡協(xié)同制造理論、關鍵技術與標準，研發(fā)一批“互聯(lián)網(wǎng)+”協(xié)同制造工業(yè)軟件，創(chuàng)建一批“互聯(lián)網(wǎng)+”制造服務平臺。
1.網(wǎng)絡協(xié)同制造模式與理論
圍繞推進互聯(lián)網(wǎng)與制造業(yè)、服務業(yè)與制造業(yè)融合發(fā)展以及打造智慧企業(yè)的創(chuàng)新需求，探索云制造等網(wǎng)絡協(xié)同制造新模式;研究智慧空間與工業(yè)大數(shù)據(jù)、服務型制造與制造服務融合等前沿理論;研發(fā)與構建產(chǎn)品全生命周期制造服務融合、多模式智能供應鏈、服務價值鏈協(xié)同、多學科支撐的工業(yè)大數(shù)據(jù)精準分析、在線運維與預測運營等核心模型與關鍵技術。為重塑制造業(yè)技術體系、產(chǎn)業(yè)形態(tài)和價值鏈提供理論支撐。
2.“互聯(lián)網(wǎng)+”協(xié)同制造工業(yè)軟件
圍繞基于互聯(lián)網(wǎng)的協(xié)同制造服務新模式，面向創(chuàng)新設計、企業(yè)經(jīng)營與資源管理、產(chǎn)品全生命周期制造服務以及工業(yè)云、工業(yè)大數(shù)據(jù)、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)等平臺系統(tǒng)的構建，研發(fā)復雜產(chǎn)品全數(shù)字化優(yōu)化和仿真、產(chǎn)品全生命周期/服務生命周期管理、資源管理與智能供應鏈協(xié)同、基于OT的智能服務、工業(yè)大數(shù)據(jù)分析等平臺系統(tǒng)與軟件，形成“互聯(lián)網(wǎng)+”協(xié)同制造工業(yè)軟件系統(tǒng)，支撐網(wǎng)絡協(xié)同制造創(chuàng)新發(fā)展。
3.基于“互聯(lián)網(wǎng)+”的創(chuàng)新設計
探索支撐制造業(yè)要素資源共享互聯(lián)及社會力量參與互動的研發(fā)設計新模式;攻克“互聯(lián)網(wǎng)+”環(huán)境下設計資源共享、研發(fā)設計價值鏈協(xié)同以及眾創(chuàng)空間構建新技術;研發(fā)支持云制造的設計資源共享與協(xié)同創(chuàng)新平臺、典型行業(yè)眾創(chuàng)服務平臺以及制造業(yè)產(chǎn)品眾包設計服務平臺。推進制造業(yè)從“企業(yè)創(chuàng)新”到“眾創(chuàng)眾包”的發(fā)展轉變。
4.資源管理與智能供應鏈
攻克“互聯(lián)網(wǎng)+”環(huán)境下基于工業(yè)云與工業(yè)大數(shù)據(jù)的企業(yè)經(jīng)營管理及資源集成共享技術、智能供應鏈協(xié)同與精準服務技術;研發(fā)制造核心企業(yè)和第三方服務商主導的多模式制造企業(yè)經(jīng)營管理與資源集成共享云平臺、智能供應鏈管理集成平臺與產(chǎn)業(yè)價值鏈協(xié)同云平臺;構建企業(yè)制造資源協(xié)同空間。推動從“企業(yè)運行”向價值鏈“協(xié)同運營”轉變。
5.產(chǎn)品全生命周期制造服務
攻克制造服務價值鏈重構、產(chǎn)品服務生命周期管理、在線運維與預測運營等關鍵技術;研發(fā)產(chǎn)品服務生命周期集成管理平臺、制造服務價值鏈協(xié)同云服務平臺以及高端裝備智能預測與精準服務云平臺;打造制造與服務融合的服務價值鏈協(xié)同新體系。支撐制造業(yè)向“制造+服務”轉型升級。
6.工業(yè)大數(shù)據(jù)驅動的網(wǎng)絡協(xié)同制造平臺
攻克產(chǎn)品數(shù)據(jù)鏈、資源數(shù)據(jù)鏈、供應數(shù)據(jù)鏈、制造數(shù)據(jù)鏈、服務數(shù)據(jù)鏈及其無縫集成、工業(yè)大數(shù)據(jù)驅動的企業(yè)智能決策與預測預警等關鍵技術;研發(fā)基于工業(yè)大數(shù)據(jù)的企業(yè)業(yè)務管控與決策分析、企業(yè)智慧數(shù)據(jù)空間構建等技術系統(tǒng);打造云制造服務平臺、工業(yè)大數(shù)據(jù)驅動的網(wǎng)絡協(xié)同制造平臺等;構建企業(yè)智慧數(shù)據(jù)空間，開展平臺典型應用。
(十二)綠色制造
重點面向我國制造業(yè)發(fā)展中高能耗、高污染的問題，以提高資源能源效率和降低環(huán)境負荷為主線，以綠色產(chǎn)品、綠色工廠為目標，掌握生態(tài)設計理論與工具、綠色制造方法與工藝、試驗驗證平臺、綠色標準與規(guī)范等基礎共性技術，推廣基礎制造工藝綠色化、流程工業(yè)綠色化技術，提升通用設備產(chǎn)品能效、工業(yè)廢棄物回收再制造與再資源化等生態(tài)效率水平。
1.基于綠色理念的減量化設計與創(chuàng)新設計
通過創(chuàng)新研發(fā)，突破新材料應用及改性設計、節(jié)能降噪設計、個性化定制設計、可拆解與回收設計等生態(tài)設計關鍵技術。掌握全生命周期高效綠色循環(huán)再利用基礎理論及關鍵技術，實現(xiàn)戰(zhàn)略性資源高效綠色循環(huán)再利用。研究典型綠色產(chǎn)品新原理、新結構設計及應用關鍵技術，開發(fā)一批綠色制造前沿技術、核心技術與裝備，開發(fā)推廣綠色產(chǎn)品，引導綠色生產(chǎn)。
2.綠色加工工藝與裝備
重點研究基礎工藝綠色化技術、流程工業(yè)綠色工藝技術、量大面廣的典型通用設備產(chǎn)品節(jié)能、減排、降耗技術。實施重點行業(yè)系統(tǒng)改造的示范應用。開發(fā)高效清潔基礎制造工藝及裝備、無害化表面處理工藝技術、少無切削液清潔加工工藝與設備、鋼鐵短流程工藝、有色金屬清潔冶煉工藝。開展制造工藝創(chuàng)新和集成應用，加快實現(xiàn)重點行業(yè)制造系統(tǒng)和裝備的綠色升級。
3.制造系統(tǒng)能效優(yōu)化關鍵技術
圍繞制造系統(tǒng)能效優(yōu)化與提升和終端用能產(chǎn)品節(jié)能，突破產(chǎn)品能效及其集成優(yōu)化匹配技術，制造系統(tǒng)機群綜合能效模型與智能分析技術、機群綜合能效的智能協(xié)同優(yōu)化控制技術;掌握系統(tǒng)能效分析與獲取、能效評價、監(jiān)控與優(yōu)化管理、設備系統(tǒng)能效提升、工藝系統(tǒng)多目標決策優(yōu)化、工件比能效率提升等系列關鍵技術;在規(guī)模以上企業(yè)開展車間、工廠以及產(chǎn)業(yè)集群的能耗定額管理和高能效優(yōu)化運行，推行制造系統(tǒng)能效評價和優(yōu)化應用。
4.資源循環(huán)利用核心技術
突破典型機械裝備及零部件智能再制造和流程行業(yè)在役再制造關鍵技術，推動再制造成套技術與裝備水平上臺階及產(chǎn)業(yè)模式創(chuàng)新，培育形成從舊件到再制造產(chǎn)品的循環(huán)產(chǎn)業(yè)鏈，提高再制造效率及其產(chǎn)業(yè)附加值。掌握大宗材料高效、精細化、高附加值資源化技術和裝備，推進資源再生利用產(chǎn)業(yè)規(guī)范化、規(guī)模化發(fā)展，逐步擴大產(chǎn)業(yè)規(guī)模，提升資源化效率及其產(chǎn)業(yè)附加值，培育形成新的經(jīng)濟增長點。
5.行業(yè)/區(qū)域綠色工廠、綠色產(chǎn)品集成應用示范
創(chuàng)新綠色制造產(chǎn)業(yè)新模式，系統(tǒng)研究綠色制造的基礎理論、運行模式、建模仿真技術，綠色產(chǎn)品、綠色工廠標準體系、評價標準。在汽車、機床、鋼鐵、冶金等行業(yè)/區(qū)域的開展全產(chǎn)業(yè)鏈綠色制造技術、綠色工廠、綠色產(chǎn)品的集成應用示范。
(十三)先進制造科技創(chuàng)新示范工程
圍繞“智能化、服務化、綠色化”發(fā)展的大趨勢，積極推進智能一代機械產(chǎn)品創(chuàng)新示范、制造業(yè)信息化創(chuàng)新示范和綠色制造集成應用創(chuàng)新示范等工作，培育示范行業(yè)、示范省市、示范企業(yè)，大力推動和引領信息技術與制造技術深度融合發(fā)展，支撐制造業(yè)向高端制造和價值鏈高端轉型升級。
1.智能化裝備/生產(chǎn)線集成技術開發(fā)與應用示范
2.智能工廠集成技術開發(fā)與應用示范
3.網(wǎng)絡化制造服務關鍵技術研究與應用示范
4.智慧企業(yè)集成技術開發(fā)與應用示范
5.重點行業(yè)/典型區(qū)域先進制造綜合應用示范
6.先進制造技術服務體系與支撐環(huán)境建設
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